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EFEM是半导体工艺装备的标准组件，，，，，是物料搬运系统和种种制程装备高效衔接的主要桥梁。。。。。。。。优米官方-数字体育娱乐新方向EFEM拥有完全自主知识产权，，，，，集成公司自主研发的晶圆装载系统、大气机械手及晶圆瞄准装置，，，，，可为客户提供种类富厚的定制化EFEM产品。。。。。。。。优米官方-数字体育娱乐新方向EFEM接纳成熟的标准化、模�？？？？？？榛榧杓疲�，，，，产品质量稳固可靠，，，，，一直缩短交货周期，，，，，普遍应用于多个着名半导体制造工厂。。。。。。。。

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产品优势

全自研解决计划

大气手、Aligner、SMIF，，，，，Loadport等焦点部件均自主研发

尺寸多样性

有包括TSS系列的产品，，，，，有1-4工位多种产品

切合SEMI标准

已通过SEMI S2 F47 认证

兼容性强

可凭证用户的现实需求举行非标定制

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

Loadport数目

1 / 2 / 3 / 4

机械手重复精度

≤ ±0.1mm

晶圆传输量WPH

≥200

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