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大气机械手是用于半导体制造中晶圆传输的要害装备，，，，，，，优米官方-数字体育娱乐新方向大气机械手具有高清洁品级、高速传片及具有碰撞保唬唬�；；すπ�，，，，，，，拥有完全自主知识产权，，，，，，，可以迎合个性化设计最后执行器及定制接口。。。。。。手臂接纳先进的结构增强了手臂的刚性，，，，，，，并有用抑制振动，，，，，，，轻量化设计知足高速要求，，，，，，，是半导体行业的优势之选。。。。。。

产品优势

质量可靠

高品质零部件，，，，，，，细密装配，，，，，，，严酷磨练，，，，，，，高寿命

个性化设计

用户可定制手指及接口

切合SEMI标准

Blade系列大气机械手已通过SEMI认证

全自研解决计划

焦点部件自主研发

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

机械手重复精度

≤ ±0.1mm

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