产品领域
Product Field
LDW 350/500 直写光刻机
该设备基于先进的DMD数字光刻技术，选取高精度的精密活动系统、光学系统、微环境节造系统，同时具备实时聚焦、自动居中对位等职能。
产品特点
01
最幼线宽线距:
350nm
01
套刻精度：
±150nm
*以上数据起源于CFMEE尝试室测试了局，具体情况可能因现实使用环境而有所分歧。本公司保留对有关数据和内容进行调整的权势，恕不另行通知。
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