WA 8 晶圆对准机

WA 8晶圆对准机是一款操作便捷、矫捷性高、可能实现？榛兜母呔染г捕宰忌璞，合用于4、6、8英寸晶圆。该设备可用于中路、MEMS出产和必要亚微米级精确对准的利用场景。

产品特点

亚微米级对准精度

合用于通明或非通明晶圆的电动高分辨率BSA显微镜系统

电动高精度对准平台

晶圆楔角误差赔偿系统

急剧更换分歧尺寸晶圆

免守护的独立气浮平台（选配）

美满的多用户治理（用户权限、界面说话、菜单和工艺节造）

*以上数据起源于CFMEE尝试室测试了局，具体情况可能因现实使用环境而有所分歧。本公司保留对有关数据和内容进行调整的权势，恕不另行通知。

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